dw-2000 DCモジュールでは多岐に渡るポストプロセッシングモジュールによりGDSII・OASIS以外の以下の種類のデータ変換機能を備えています。
※GDSII及びOASIS形式は基本モジュールで入出力とも完全サポート致しております。
MEBES変換はdw-2000のライブラリからデータを抽出したいとき、またはEBEAM読込み形式への直接変換が必要な際に使用されるものです。 特に固有歪曲を確認する際にMEBES形式が適用されることが多いでしょう。通常自然なMEBES歪曲は部品不良を引き起こしてしまうこともあるため、データが非常に正確である必要があることをユーザーは最大限考慮しなければいけません。
dw-2000ではdw-2000からMEBESへの出力、GPEベースのMEBES-to-dw-2000コンバ-タ-を用いてのMEBESデータのユーザーライブラリへの読み返し、そしてそれをオリジナルデータ上に置くことも可能です。これによりユーザーはマスクへの転送される前に相違点の比較や問題の発見・修正ができるようになります。
MEBES出力概要 - 変換種類 : I (0.5μ) ・ II (0.25μ) ・ 拡張及びレチクルモ-ド - 解像度 : 0.05μ から1.1μまで(ミクロン) - データのスケーリング可能 - 256、512及び1024アドレスユニットのストライプ高 - エラー及び活動のログ |
Cambridge SPD変換モジュールは、EBEAMなどへの更なる変換を図るためにdw-2000ライブラリからCambridge SPDフォーマットへの直接変換を行うものです。Dw-2000 Cambridge SPD変換モジュールはMEBES変換同様、dw-2000へのデータ再転換及びオリジナルデータ上への配置も可能です。
Cambridge出力概要 - 製造範囲 : 1ナノメータ ~ 1ミリメータ - レイヤーまたはデータ種類を基にしたクロックステートメント挿入 - 無から完全台形までフラクチャリングコントロール選択 - 系統コメント参照 - ゼロ幅ラインスキャンへの矩形挿入 |
JEOL-01変換モジュールは、EBEAMなどへの更なる変換を図るためにdw-2000ライブラリからJeol-01フォーマットへの直接変換を行うものです。dw-2000 JEOL-01変換モジュールはMEBES変換同様、dw-2000へのデータ再変換及びオリジナルデータ上への配置も可能です。
JEOL-01出力概要 - 製造範囲 : 1ナノメータ ~ 1ミリメータ - レイヤーまたはデータ種類を基にしたショットランク調整 - 系統コメント参照 - ゼロ幅パスへのライン出力サポート - エラー及び活動のログ |
JEOL-51変換モジュールは、dw-2000ライブラリからデータを抽出し、JEOL機器用フォーマットに変換するものです。EOS 1~8、5b、6b、7b、8b、3c、4c、7c、8cのいかなるJEOL JBX-5D11/5FEに対応しております。また、様々な組み合わせ及び柔軟性を持たせられるよう、フィ-ルドサイズ及びサブフィ-ルドサイズは独立してX・Yに設定することが出来ます。Dw-2000 JEOL-51変換モジュールには、変換のラウンドオフや不一致を検査するためにオリジナルデータ上に変換データを置くことが出来るJEOL-51リ-ダ-が含まれております。
JEOL-51出力概要 - EOSモ-ド選択(1~8、5b、6b、7b、8b、3c、4c、7c、8c) - 独立X・Yフィ-ルドサイズ及びサブフィ-ルドサイズ - 16または64のデータ種類によるショットランクモジュール - 旧式PDP-11互換 - ポストプロセッシング用ID名挿入(PREAD) - エラー及び活動のログ |
CIF/Caltech Interchange Formatは教育環境で広く使われている形式です。dw-2000 Data ConversionモジュールにはCIFフォーマットデータを読込めるGPEプログラムが装備されており、dw-2000ライブラリへ直接転換することが出来ます。因みにdw-2000のエレメントをCIF形式に正確に反映させることが出来ないため、CIF出力はサポート致しておりません。
レイアウトをそのまま、または出力範囲を指定してクリップボードや画像ファイルに出力することが出来ます。出力できる画像形式の種類はBMP、JPEG、GIF及びPNGの四種類から選択できます。
AutoCAD標準形式のDXF・DWGについては別オプションのAutoCAD Conversionモジュールにて入出力とも完全サポートしております。詳しくはこちらをご参照下さい。
dw-2000では上記フォーマット以外に、標準添付サンプルマクロによる以下のデータ変換をサポートしております:
・MEBES IN
・Jeol-01 IN
・Jeol-51 IN
・Cambridge SPD IN
その他のフォーマットは現在、標準ではサポートしておりません。但し、IGES形式のように上記のGraphics Outputを利用することでクリップボード経由で変換することができるものもあります。必要な変換形式が一覧に無い場合は、お気軽にお尋ねください。
上記以外にも便利な機能・特長が豊富にあります。
こちらよりデモ版をダウンロードして、実際に体験いただけます。